WF6は、主に電子産業において金属タングステンの化学蒸着（CVD）プロセスの原料として使用されています。WF6から生成されるWSi2は、大規模集積回路（LSI）の配線材料として使用できるほか、半導体電極、フッ素化学薬品、重合触媒、光学材料などの原料としても使用できます。